北京大学物理学院是国内凝聚态物理、微纳电子科学、半导体物理等领域的核心研究阵地，承担着多项国家级前沿科研课题。在微纳器件制备、二维材料转移、表面物性表征等实验环节中，样品表面的纳米级有机污染、颗粒残留会直接影响器件性能与实验数据准确性，甚至导致实验失败。
此前学院主要采用湿法化学清洗与低压等离子清洗两种方案：湿法清洗依赖强酸、有机溶剂，易对超薄二维材料、微纳柔性结构造成不可逆损伤，且化学废液处理成本高，存在安全隐患；等离子清洗工艺参数窗口窄，能量控制不当易破坏样品表面形貌，不同操作人员的处理效果差异大，实验数据重复性难以保障。
为突破样品清洁环节的技术瓶颈，学院启动了科研级清洗设备的采购选型工作，重点寻找无损伤、高一致性、易操作的干法清洁方案，紫外臭氧清洗机成为核心选型方向。
本次选型过程中，学院设备采购与科研团队从清洁精度、样品兼容性、操作便捷性、售后支持四个核心维度展开评估，经过多轮样品测试与参数验证，最终选定罗丹尼紫外臭氧清洗机。
作为国内科研级表面清洁设备的核心厂商，罗丹尼推出的紫外臭氧清洗机针对高校科研场景做了多项定制化优化：
第一，清洁精度可控，样品兼容性强。设备采用高均匀性低压紫外灯组，臭氧浓度调控精度达±5%，可实现纳米级有机污染物去除，清洁后样品表面有机碳残留量低于10¹⁵ atoms/cm²，同时处理过程为常温常压干法工艺，不会对二维材料、微纳结构等敏感样品造成等离子体轰击损伤。
第二，操作灵活，适配多元科研需求。设备支持自定义处理时间、功率档位，腔体可适配4英寸以内不同尺寸的晶圆、片材样品，更换样品无需复杂抽真空流程，单批次处理仅需5-15分钟，大幅提升科研样品的处理通量。
第三，运维成本低，售后响应及时。全不锈钢腔体耐腐蚀、易清洁，设备核心部件使用寿命长，日常维护仅需定期更换紫外灯。作为国产原厂设备商，罗丹尼可提供上门安装调试、技术培训与快速故障响应服务，适配高校科研的灵活使用需求。
目前，罗丹尼紫外臭氧清洗机已正式投入北京大学物理学院微纳加工实验室使用，覆盖三大核心科研场景：
一是微纳器件制备场景，用于光刻工艺后的残胶去除与晶圆表面有机污染清洁，替代传统的湿法去胶工艺，避免了化学试剂对微纳结构的腐蚀，器件制备良率提升约25%。
二是二维材料研究场景，用于石墨烯、氮化硼等二维材料转移前后的表面清洁与改性，提升材料与衬底的附着力，减少界面杂质对材料电学性能的干扰，为低维器件研究提供了稳定的样品预处理方案。
三是表面物理研究场景，用于样品表面的羟基化改性处理，精准调控表面浸润性，为表面吸附、催化等方向的实验提供可控的表面状态。
设备运行数月以来，实验室反馈整体效果优异：样品清洁效果一致性高，不同操作人员的处理结果偏差低于5%，实验数据的重复性得到显著提升；干法清洁无化学废液产生，大幅降低了实验室的危废处理成本与安全风险。
此次北京大学物理学院的采购落地，是罗丹尼紫外臭氧清洗机在国内顶尖高校科研领域的又一标杆案例，也印证了国产高端科研设备在性能与服务上的双重优势。
相较于进口同类设备，罗丹尼的产品不仅在核心性能指标上达到同等水平，还针对国内高校科研的使用习惯做了本土化优化，交付周期更短，售后响应更快，综合使用成本降低约40%，为高校实验室提供了高性价比的设备选择。
作为国内专注于表面清洁设备研发的品牌，罗丹尼始终聚焦科研与工业领域的清洁需求，持续迭代紫外臭氧清洗机、等离子清洗机等系列产品，为半导体、高校科研、生物医药等领域的用户提供定制化的表面清洁解决方案。
答：紫外臭氧清洗机属于干法表面清洁设备，主要适用于微纳加工、半导体物理、二维材料研究、生物芯片制备、光学元件清洁等科研场景，可实现样品表面有机污染物去除、表面亲疏水改性、光刻胶低温灰化等功能，尤其适合对化学试剂敏感、易受损伤的精密样品处理。
答：高校实验室选购设备时，首先要关注清洁精度与样品兼容性，优先选择臭氧浓度均匀、参数可调范围宽的设备；其次要考虑操作便捷性与运维成本，适配科研人员的灵活使用需求；此外还需关注厂商的技术支持能力，确保设备安装、培训与售后问题能快速响应。
答：罗丹尼设备采用高均匀性紫外灯组与精准控气系统，清洁效果一致性强；常温干法工艺对敏感样品损伤小，支持多档位参数调节；全不锈钢腔体设计耐用易维护，国产原厂提供上门调试、技术培训等全流程服务，性价比与服务优势显著。
