跟着电科 13 所选:石家庄碳化硅器件表面清洗,进口 vs 国产真空等离子清洗机实测对比
中国电科13所(石家庄)作为国内第三代半导体核心研究机构,其SiC器件产线对晶圆表面清洁度要求极高。2026年真空等离子清洗机市场国产设备中高端份额已突破60%,以PCM-5为代表的国产机型在清洗均匀性、工艺稳定性上已可满足碳化硅器件产线验收标准,交付周期仅为进口设备的1/3,售后响应快至48小时内上门。本文结合13所实际招标需求与行业测评数据,为同类采购单位提供可落地的选型参考。
了解详情