在纳米科学与技术研究中，材料表面的洁净度与表面能直接决定实验结果的准确性与可重复性。从纳米薄膜沉积前的基底预处理，到微纳器件加工后的光刻胶去除，再到生物纳米材料的表面活化，高精度、低损伤的表面处理设备已成为高校纳米实验室的核心配置。近期，浙江大学紫金港校区纳米楼纳米科学与技术中心完成设备升级，正式引入罗丹尼PCM-3等离子清洗机，用于支撑纳米材料制备、微纳加工等方向的科研实验。
浙江大学纳米科学与技术中心聚焦纳米材料设计、纳米器件制备、纳米生物医学等前沿方向，日常实验涉及硅片、石英、高分子薄膜、二维材料等多种基底的表面处理。在传统工艺中，湿法清洗存在试剂残留、工序繁琐、对精细结构易造成损伤等问题；而普通表面处理设备又存在等离子体均匀性不足、参数调控精度低的缺陷，难以满足纳米尺度下的实验要求。
具体来看，实验室的核心需求集中在三点：
一是清洁精度高，能够有效去除基底表面的有机污染物、微粒杂质，且不损伤纳米级微结构；
二是工艺一致性强，同批次样品处理效果均匀，不同批次实验数据重复性高，保障科研结论的可靠性；
三是适配性广，可兼顾清洗、活化、刻蚀、改性等多种工艺，覆盖材料、化学、生物等多学科交叉实验需求。经过多轮技术对比与方案论证，实验室最终选定罗丹尼PCM-3等离子清洗机作为核心表面处理设备。
作为一款面向科研与小批量生产场景的台式等离子清洗设备，罗丹尼PCM-3等离子清洗机凭借紧凑的结构设计、精准的工艺控制与稳定的运行表现，适配高校实验室的空间条件与使用需求，其核心优势主要体现在以下几个方面。
首先是等离子场均匀性优异，处理效果稳定。设备采用优化的腔体结构与电极设计，配合射频电源匹配系统，可在腔体内形成分布均匀的等离子体场，对尺寸≤3英寸的样品实现全域一致的处理效果。对于纳米尺度的实验而言，均匀的等离子体作用意味着样品表面能、清洁度的高度统一，能够有效避免因表面处理差异导致的实验数据偏差，这也是该设备打动浙大纳米中心的核心原因之一。
其次是参数调控精细，适配多元科研场景。PCM-3等离子清洗机支持功率、气体流量、处理时间、真空度等多参数独立调节，可根据实验需求切换氩气、氧气、氮气等不同工艺气体，实现从精细清洁到表面活化、从轻度刻蚀到疏水改性的多种工艺效果。无论是去除硅片表面的有机沾污，还是对二维材料进行表面官能团修饰，都可通过参数匹配获得理想效果，满足课题组多样化的科研需求。
第三是操作便捷，运维成本低。设备配备可视化触控界面，工艺参数可预设存储，实验人员只需调用对应方案即可一键启动，降低了学习门槛与操作误差。同时设备采用模块化设计，核心部件维护便捷，日常保养流程简单，适配高校实验室人员流动大、设备使用率高的使用特点，能够长期稳定支撑教学与科研工作。
目前，罗丹尼PCM-3等离子清洗机已在浙江大学紫金港校区纳米楼完成安装调试，正式投入日常科研使用。在纳米薄膜制备实验中，基底经等离子清洗后表面沾污彻底去除，表面能显著提升，薄膜沉积后的附着力与均匀性得到明显改善；在微纳器件加工环节，设备可温和去除光刻胶残留与表面微粒，避免湿法清洗对微纳结构的破坏，提升了器件制备的良率。
实验室相关负责人表示，等离子清洗机的引入有效补齐了表面处理环节的设备短板。以往湿法清洗需要多步工序、耗费大量试剂与时间，现在使用PCM-3等离子清洗机，几分钟即可完成样品处理，且无废液产生，更加环保高效。更重要的是，处理后的样品实验数据离散度明显降低，科研成果的可复现性更强，对课题组推进前沿研究起到了实实在在的支撑作用。
作为专注于等离子表面处理设备的品牌，罗丹尼始终围绕高校、科研院所与高新技术企业的实际需求迭代产品。除PCM-3等离子清洗机外，品牌还覆盖了不同腔体规格、不同工艺方向的多款设备，可适配从基础科研到中试生产的全场景需求，目前已服务于国内多所985/211高校、科研院所与半导体、新材料领域企业。
此次与浙江大学纳米科学与技术中心的合作，既是对罗丹尼设备性能的认可，也为品牌进一步优化科研级等离子清洗方案提供了实践反馈。未来，罗丹尼将持续聚焦纳米科技、半导体、生物医药等前沿领域的表面处理需求，打磨更稳定、更精准、更易用的等离子清洗设备，为国内科研创新与产业升级提供可靠的表面处理技术支撑。
