紫外臭氧清洗机UV750操作指南：新手3分钟快速上手的“傻瓜式”教程！

“刚买了紫外臭氧清洗机UV750，看着满屏的英文和按钮头都大了？”

“万一操作失误把昂贵的样品洗坏了怎么办？” “说明书太厚，根本没时间细看！”

这是很多科研院所老师、半导体工艺工程师以及刚入行的小白在面对紫外臭氧清洗机UV750时的真实心声。作为一款兼顾“高精度清洗”与“操作简便性”的桌面型设备，UV750其实并没有想象中那么难。今天，我们就用最通俗的语言，带你走完一遍全流程，哪怕你是第一次上手，也能像老员工一样熟练！

一、 UV750究竟是“黑科技”还是“智商税”？一图看懂原理

在动手之前，我们需要先明白UV750在做什么。简单来说，它利用了两种武器：

1. 紫外光（UV）： 波长185nm和254nm的紫外线，能直接打断有机物的分子链（比如光刻胶、指纹油）。
2. 臭氧（O3）： 紫外线激发空气中的氧气生成臭氧，利用其强氧化性“吃掉”表面的有机污染物。

这就是为什么UV750能在不损伤基底（如硅片、玻璃、ITO）的情况下，实现原子级的清洁。

图1：UV750利用短波紫外（185nm）激发臭氧并分解有机物，长波紫外（254nm）杀菌消毒

二、 核心：UV750标准操作流程（SOP）

别被控制面板吓到了，其实核心操作只有三步：开机 -> 设置 -> 运行。

1. 开机与预热

• 连接电源和气源（如果是氮气增强型）。
• 按下侧面的绿色电源键，此时显示屏亮起，系统进入自检（约10秒）。
• 新手注意：听到“滴”的一声且屏幕显示“Ready”或“待机”状态，才算预热完成。

2. 参数设置（关键！）UV750通常有两种模式：

• 定时模式（Timer）： 适合常规清洗。一般设置 10-15分钟。时间太短洗不净，太长可能对部分光刻胶有过曝风险。
• 循环模式（Cycle）： 适合重度污染。清洗-排气-清洗，反复2-3次。

操作技巧： 在触摸屏上点击“Process”菜单，选择“Standard Clean”，确认时间后点击“Start”。

图2：清晰的触控界面，新手只需关注“时间设置”与“启动”两个核心区域

3. 放入与取出样品

• 放入： 打开舱门，将样品放入石英托盘（注意：样品尽量平铺，不要堆叠，避免遮挡紫外线）。
• 关键动作： 轻轻关紧舱门，确保密封圈无异物。
• 运行： 按下启动键，此时观察窗会有蓝紫色光（这是正常现象，不要直视！）。
• 取出： 倒计时结束后，蜂鸣器会提示。等待30秒让臭氧排尽，再开门取出样品。

三、 3个决定清洗效果的“隐藏技巧”

为什么别人洗出来的接触角（Water Contact Angle）那么小，你的却还有水印？差别就在细节里：

技巧1：利用“氮气吹扫”功能（如选配） 如果您的UV750带有氮气接口，建议在清洗时通入少量氮气。这不仅能加速臭氧分解，还能防止清洗过程中空气中的灰尘二次污染样品。

技巧2：石英窗的清洁 紫外灯管外层有一层石英窗。如果上面积灰，紫外光强会衰减30%以上！

• 建议：每使用50次，用无尘布蘸取少量异丙醇（IPA）擦拭石英窗。

技巧3：样品的“朝向” 对于亲水性测试样品，建议将待清洗面朝上正对灯管中心；对于怕划伤的软性材料（如PDMS），建议放在边缘区域，光强稍弱但更安全。

图3：样品应平铺在托盘上，避免重叠，确保紫外线360°无死角照射

四、 新手最容易犯的3个错误（附解决方案）

错误1：不戴手套直接拿样品

• 后果：手上的油脂和汗渍会在紫外光下发生“光化学反应”，反而更难洗掉，甚至在样品表面形成一层膜。
• 解决：务必佩戴丁腈手套或指套！

错误2：清洗完成立即开门

• 后果：腔体内充满高浓度臭氧，此时突然开门会导致臭氧溢出，刺激呼吸道，且样品表面会迅速吸附空气中的碳氢化合物，导致“二次污染”。
• 解决：程序结束后，等待排气风扇工作至少1-2分钟再开门。

错误3：把金属样品放进去长时间洗

• 后果：UV750主要针对有机物（光刻胶、树脂、油污）。如果是金属氧化层，它洗不掉，反而可能改变金属表面粗糙度。
• 解决：明确清洗目标。如果是去胶，选UV750没错；如果是去金属氧化物，请考虑等离子清洗机或酸洗。

图4：操作规范对比——必须佩戴防静电手套，避免人体油脂污染

五、 日常维护与简单故障排除

为了让UV750寿命更长（通常灯管寿命8000-10000小时），请记住以下保养口诀：

1. 灯管更换： 当发现清洗时间需要延长一倍才能达到效果时，说明紫外光强衰减，需更换灯管。
2. 真空泵（如有）： 定期检查泵油液位，避免油雾反冲污染样品。
3. 滤网清洗： 进风口的初效滤网每3个月水洗一次，保持通风散热良好。

常见故障：

• 报错“Door Open”：检查门磁感应器是否有灰尘，或门封条是否老化。
• 不出光：检查急停按钮是否被按下，或灯管触发器是否松动。

六、 结语：选择UV750，就是选择高效与安心

紫外臭氧清洗机UV750凭借其非接触式清洗、无损伤、低成本、易操作的特点，已经成为实验室和中试线的“标配神器”。

通过本文的介绍，相信您已经发现：操作UV750并不难，难的是养成规范操作的习惯。 只要避开那几个新手误区，您完全可以在3分钟内完成一次高质量的清洗。

如果您在实际操作中遇到无法解决的问题，或者想了解UV750针对特定材料（如石墨烯、MEMS器件）的清洗参数，欢迎在评论区留言或联系我们的技术工程师，我们将为您提供1对1的工艺支持！

紫外臭氧清洗机UV750操作指南：新手3分钟快速上手的“傻瓜式”教程

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