山东罗丹尼受邀参加2026年微纳器件与系统应用技术大会展示国产微纳制造设备创新成果

2026 年 5 月 22 日至 24 日，备受行业瞩目的 "2026 年微纳器件与系统应用技术大会暨第十九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会" 在大连香洲花园酒店隆重召开。作为国内领先的实验室前处理仪器与微纳制造设备供应商，山东罗丹尼分析仪器有限公司受邀出席本次盛会，携旗下等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、全自动匀胶机等核心产品亮相，与来自全国微纳电子领域的顶尖专家学者、行业领袖共同探讨技术发展趋势，展示国产微纳制造设备的创新实力与应用成果。

一、行业盛会：汇聚微纳电子领域顶尖力量

微纳器件技术作为一门涉及电子、光子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、封装、测试等多学科交叉渗透的高新技术，是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。随着全球半导体产业进入后摩尔时代，微纳电子技术正朝着更小尺寸、更高集成度、更低功耗和更智能化的方向快速发展，成为支撑人工智能、物联网、新能源汽车、生物医疗等战略性新兴产业的核心技术。

本次大会由中国半导体行业协会半导体分立器件分会主办，以 "推动微纳器件与系统应用技术创新，促进产业协同发展" 为主题，吸引了来自全国 120 余家高校、科研机构以及企业的 500 余名学者、工程师和企业代表参加。大会为期三天，设置了开幕式、特邀报告、邀请报告以及四个专题分论坛，涵盖微纳生物电子与脑机接口、微纳光学与 AI 光电子芯片、MEMS/MOEMS/Bio-MEMS 与传感器先进制程、封装测试及系统集成等多个前沿领域。

大会特别邀请了复旦大学陈宜方教授、浙江大学刘清君教授、哈尔滨工业大学金鹏教授、上海交通大学崔大祥教授、南京大学王漱明教授等国内微纳电子领域的著名学者和知名专家作大会主旨报告和邀请报告，分享最新研究成果和技术进展，共同探讨微纳器件与系统应用产业的可持续发展路径。

二、权威组织机构：打造产学研用深度融合平台

本次大会得到了国家相关部门和行业组织的大力支持，由行业权威机构牵头，联合多家科研院所和龙头企业共同举办，形成了强大的组织阵容，为大会的成功举办提供了坚实保障。

主办单位

• 中国半导体行业协会半导体分立器件分会

承办单位

• 元器件封装技术创新中心
• 固态微波器件与电路全国重点实验室
• 河北普兴电子科技股份有限公司
• 苏州纳米科技发展有限公司
• 苏州市集成电路行业协会
• 中国半导体行业协会 MEMS 分会
• 中国电科产业基础研究院

协办单位

• 大连理工大学机械工程学院
• 合肥锐思会展服务有限公司
• 合肥锐嘉龙创科技有限公司
• 大连国翔文化交流有限公司
• 《微纳电子技术》编辑部
• 《半导体技术》编辑部

如此强大的组织机构阵容，充分体现了本次大会的权威性和影响力，也为参会企业和科研机构提供了一个高水平的技术交流与合作平台，有力推动了微纳电子领域产学研用的深度融合。

三、山东罗丹尼产品展示：国产微纳制造设备的创新力量

作为本次大会的重要参展商之一，山东罗丹尼分析仪器有限公司在展台上集中展示了其在微纳制造设备领域的核心产品和技术解决方案，吸引了众多参会专家和企业代表的关注。山东罗丹尼是一家专业从事实验室前处理仪器、微纳制造设备研发、生产、销售及服务为一体的科技型企业，拥有 1200 余平方米的研发中心，科研人员占比超过 30%，拥有 30 余项知识产权，自主研发多项技术打破了进口设备的技术垄断。

1. PCM系列高精度真空等离子清洗机

PCM-3/5/7 等离子清洗机是山东罗丹尼针对微纳电子、半导体封装、生物医疗等领域推出的明星产品，凭借 "科研级精度 + 工业级稳定性" 在高校科研与中小企业量产场景中脱颖而出。该设备采用先进的等离子体技术，能够实现分子级的表面清洗和改性处理，有效去除晶圆、芯片、MEMS 器件表面的有机污染物、氧化层和颗粒杂质，显著提高产品的附着力、焊接强度和可靠性。

PCM-5 等离子清洗机具有体积小、操作简便、处理效率高、运行成本低等优点，完美适配实验室工作台与紧凑生产线布局，解决了中小企业 "场地有限" 的实际难题。其核心配置精准匹配国产化生产线适配需求，覆盖 90% 以上的应用场景，包括汽车零部件、塑料件除油，以及半导体芯片、医疗导管的精密表面改性等。

2. UV 系列紫外臭氧清洗机

山东罗丹尼 UV100/130/230/750 系列紫外臭氧清洗机是专为微纳电子、光学元件、半导体材料等领域设计的高精度表面处理设备。该设备利用紫外线照射产生的臭氧和活性氧原子，能够在常温常压下快速、高效地分解有机污染物，实现超洁净的表面清洗效果。

与传统的湿法清洗相比，紫外臭氧清洗具有无二次污染、不损伤基材、操作简单、维护方便等显著优势，广泛应用于晶圆光刻前处理、光学镜头清洗、MEMS 器件制造等工艺环节。该产品已通过 "仪器优选" 认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，获得了众多用户的认可和好评。

3. LDN-4SC 全自动匀胶机

LDN-4SC 全自动匀胶机是山东罗丹尼针对微纳加工、半导体制造、光学薄膜制备等领域开发的高精度旋涂设备。该设备采用先进的伺服电机驱动系统和精密控制算法，能够实现 500~7000rpm 的旋转速度范围，旋转精度达到 ±5rpm，最大加速度≤12s，基片直径最大支持 46mm，腔体直径为 140mm。

LDN-4SC 全自动匀胶机具有操作简便、重复性好、稳定性高等特点，能够均匀地将光刻胶、溶胶 - 凝胶等材料涂覆在硅片、玻璃、陶瓷等各种基材表面，广泛应用于电子 / 电气、航空航天等领域的科研和生产过程中。

除了上述核心产品外，山东罗丹尼还展示了烤胶机、高温精密加热台、臭氧中和器等一系列微纳制造配套设备，形成了完整的微纳加工表面处理解决方案，能够满足不同用户的多样化需求。

4. BM系列高温精密烤胶机（高温精密加热平台）

BM-160/280系列高温精密烤胶机是山东罗丹尼专为微纳光刻工艺配套研发的核心设备，主要用于光刻胶的前烘、曝光后烘、坚膜处理以及基片的高温退火、固化等工艺环节，是匀胶 - 光刻 - 显影全流程中不可或缺的关键设备。该设备采用 PID 智能温控系统，温度控制范围覆盖室温至 500℃，温度精度可达 ±1℃，加热平台表面温度均匀性≤±1℃，能够有效避免因温度不均导致的光刻胶开裂、图形变形等问题。

设备配备了高精度温度传感器和过热保护装置，确保运行安全可靠；同时支持多段程序升温控制，用户可根据不同工艺需求自定义温度曲线，满足多样化的实验和生产要求。HJ 系列烤胶机可完美适配 2 英寸、4 英寸、6 英寸等多种规格的硅片、玻璃片、陶瓷基片，与山东罗丹尼自主研发的全自动匀胶机、等离子清洗机形成完整的微纳光刻前处理解决方案，广泛应用于半导体制造、MEMS 传感器、光电子器件、生物芯片等领域。凭借优异的性能和高性价比，该产品已成为国内众多高校实验室和中小型半导体企业的首选替代进口设备。

除了上述核心产品外，山东罗丹尼还展示了臭氧中和器、石墨消解仪、全智能马弗炉等一系列微纳制造配套设备，形成了完整的微纳加工表面处理解决方案，能够满足不同用户的多样化定制需求。

四、总结与展望-------携手推动国产微纳电子产业高质量发展

本次 2026 年微纳器件与系统应用技术大会的成功举办，为国内微纳电子领域的产学研用各方搭建了一个高效的交流与合作平台，有力推动了微纳器件与系统应用技术的创新发展。山东罗丹尼作为国产微纳制造设备领域的优秀代表，通过本次大会充分展示了其在技术研发、产品创新和市场应用方面的实力和成果。

当前，全球半导体产业正面临深刻变革，国产设备替代进口已成为行业发展的必然趋势。随着《半导体装备产业发展行动计划》的落地实施，国产等离子清洗机、匀胶机等微纳制造设备的市场渗透率正在快速提升。山东罗丹尼将以本次大会为契机，继续加大研发投入，不断提升产品性能和技术水平，积极开展与高校、科研机构和下游企业的深度合作，为用户提供更加优质、高效、可靠的微纳制造设备和解决方案。

未来，山东罗丹尼将始终坚持 "创新驱动、质量为本、客户至上" 的发展理念，致力于打破国外技术垄断，推动国产微纳制造设备的国产化进程，为中国微纳电子产业的高质量发展贡献自己的力量。同时，公司也将积极拓展国际市场，提升品牌影响力，努力成为全球领先的微纳制造设备供应商。