微纳加工必看:真空等离子体蚀刻机 “各向异性控制” 核心指标全解析!
真空等离子体蚀刻机作为关键设备,其性能直接影响芯片、传感器、光学元件等精密器件的加工精度与成品质量。而 “各向异性控制” 作为衡量蚀刻机性能的核心指标,更是决定了微纳结构能否实现垂直、陡峭的侧壁形貌,满足高精度制造需求。
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