电子元器件清洁新突破:紫外臭氧清洗机如何实现"原子级"光刻胶残留去除?
紫外臭氧清洗机凭借"原子级"清洁能力、低损伤特性及环保优势,正从"可选设备"变为"刚需装备"。对于国内半导体企业而言,掌握这一核心技术不仅能提升产品良率,更能为先进制程的研发提供关键支撑。
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