设备类型：在线式/传输式紫外臭氧清洗设备
处理方式：连续传送、非接触式清洗
紫外光源：185nm+254nm低压汞石英灯（可选配低温或高光强灯组）
灯管数量：多灯阵列，根据样品尺寸配置
灯管功率：根据样品台大小和光强定制
有效清洗区域：根据样品大小配置，可选配样品台电动升降
舱体开关方式：可根据上下料方式的不同改变闭合方式
控制方式：PLC+触摸屏幕控制
清洗时间：1-999分钟之间可自行控制
处理温度：根据灯管功率波动，可选配RT-200℃样品台加热
冷却方式：风冷、水冷可选
外壳材质：全镜面不锈钢、不锈钢喷塑可选
腔体材质：全镜面不锈钢
进气方式：可根据工艺要求配备多气路
排气方式：配备排风管，可选配内置臭氧中和器
安全保护：开舱门自动关闭紫外灯，可选配臭氧检测屏显系统，过温保护
可根据要求配置扫码枪、CCD检测、MES通讯接口，异形样品可做工装
该设备作为传输式紫外臭氧清洗设备，配备 PLC 触摸屏、自动调速、安全联锁与高效排风系统，可与上下游产线无缝对接，实现全自动在线式紫外臭氧清洗。适用于 ITO 导电玻璃、光学镜片、晶圆、陶瓷基板、FPC 等精密清洗。相比传统湿法清洗，该连续传送紫外臭氧清洗机无需化学药剂，无残留、无损伤，更环保高效。
