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LDN-4/6/8pro旋涂仪

山东罗丹尼 LDN-4/6/8pro 系列程控匀胶机(又称旋涂仪)是专为科研院所、高校实验室及中小批量生产场景量身打造的高精度薄膜制备核心设备。设备采用先进的 PLC 控制系统与人性化触屏交互设计,可稳定处理从碎片到 4/6/8 英寸的圆形标准晶圆及各类异形基片,广泛适配半导体光刻、光电显示、MEMS 器件制造、功能涂层研发等多领域的精密工艺需求,是实验室薄膜制备与小批量生产的理想选择。
  • 详细介绍

型号:LDN-4/6/8pro

生产厂家:罗丹尼

 

本款程控匀胶机(旋涂仪)是专为科研院所、高校实验室及中小批量生产打造的薄膜制备核心设备,稳定支持 1~8 英寸标准晶圆与异形基片加工,广泛适配半导体光刻、光电显示、MEMS、功能涂层等多领域工艺需求。

 

产品特点:

① 透明视窗上翻盖,同心加液口

② PLC控制,5寸全彩触屏操作

③ 可处理基片尺寸范围:碎片至4/6/8寸圆形底物

④ 转速范围:20-10000rpm

⑤ 屏显真空度,带手动调压旋钮

⑥ 可配备多种规格真空载物盘

⑦ 电压:220V/50HZ

⑧ 仪器尺寸:650*470*H320mm

本文网址 : https://www.kodeny.com/product/37.html

公司产品主要分为:等离子清洗机,烤胶机,高温精密加热台,生物毒性检测仪,紫外臭氧清洗机,臭氧中和器,混凝试验搅拌器,冷却循环水机等,用户集中于环境监测、疾病预防控制中心、科研院校、食品药品检测、材料和供排水监测等领域。

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