北京大学集成电路学院为何选择罗丹尼PCM-5?高校实验室真空等离子清洗机应用实例解析
在半导体与微纳电子研究中,样品表面的洁净度直接决定实验成败。北京大学微纳电子大厦集成电路学院通过引进罗丹尼PCM-5高校实验室真空等离子清洗机,成功解决了传统湿法清洗带来的损伤与残留难题。本文从采购背景、设备选型、技术优势及实际应用效果四个维度,深度剖析这一高校实验室等离子清洗机选型案例,为同类科研平台提供可借鉴的经验。
2026-07-10